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电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究
以电化学腐蚀加工法为基础,提出了一种加工复杂形状微细电极的工艺方法。利用端面绝缘的方法改变阳极的局部导电性,使阳极和阴极之......
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电化学腐蚀
微细电解加工
微细电极制备
加工定域性
electrochemical etching
micro-ECM
fabrication of mic
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